分类一:按照原理分类
气体输送泵指的是将密闭空间内的气体输送至外部或其他容器内的机器,通过降低密闭空间内气压来获得真空。常见的包括水环泵、无油柱塞泵、旋片油封泵等。而气体捕集泵是一种真空泵,它能将被抽气体吸附或凝结在泵内表面的气体体积减小,从而获得真空。通常采用化学或物理化学的方法来实现。
分类二:按照真空度分类
粗真空度是指工业及实验室使用的水环式真空泵所能达到的真空度,一般为10E5~10E-1Pa。而高真空度则需要采用更先进的技术,例如常用的油封泵,能够获得10E-1~10E-6Pa的真空度。而超高真空度则需要借助气体捕集泵等更加先进的技术,真空度能够达到10E-6~10E-9Pa。